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ICPOES 720ES 顯示 ws異步諾誤 F F60304 炬營點火失敗, 排查電源，電源板，點火板，氣控板 ，功率管 ，做好儀器清潔維護

720ES 報錯 F60304＋“炬管點火失敗”一次排完

一、先判斷“軟件報錯”還是“真點不著”

重新開機 → Plasma → Manual Ignite

若 3 s 內(nèi)就彈出 F60304，無“噠噠”高壓聲 → 重點查“點火板/高壓箱”

若聽見噠噠聲、有橙紅絲但 1-2 s 熄滅 → 重點查“外圍氣水風＋RF 功率鏈”

二、外圍 4 步 （排除 60% 假故障）

Ar ≥99.995%，瓶壓 ≥5 MPa；換瓶后放空 2 min

冷卻水 18-22 ℃，流量 ≥4 L min?1；電導率 <2 μS cm?1

抽風 8-12 m s^-1，風閘確認閉合

炬管、霧化器、廢液管重新安裝——“手擰-推-拉”三步檢漏

以上做完再次點火 → 仍 F60304 則進入硬件板級排查

三、板級快速量點（工具：萬用表＋高壓棒）

| 板號   / 關鍵測試點    / 正常值   / 常見失效件  / 現(xiàn)場處理            

| 1. 主電源板 113-00109-1  / TP380 VDC 對地   /380 ± 20 V  | 5 A/15 A 保險斷、PFC 模塊擊穿 /換保險/整板 Exchange    

| 2. 燈絲驅(qū)動板 113-00110-1  / 輸出端子 AC 0-6 V（點火 2 s）/5.5 ± 0.5 V | IRFP460 擊穿、3 A 保險熔    /換 MOSFET+保險

| 3. 高壓調(diào)整板 113-00108-1  / L3 色環(huán)電感通斷     / <1 Ω  / L3 開路 → 無 HV  / 換 L3 或整板          

| 4. 6 kV 高壓子板 113-00107-1 /高壓棒測輸出  / 6 ± 0.5 kV  | 高壓二極管擊穿   / 國產(chǎn) 2CL77 

| 5. RF 功率管（陶瓷三極管） / 燈絲電阻  / 0.9-1.2 Ω   | 開路或短路 / 換管并重新匹配           

量順序：先 380 VDC → 再燈絲 6 V → 再 6 kV → 最后 RF，避免重復拆板

四、點火線 & 振蕩箱目測（放電聲弱/爆鳴必查）

點火線瓷頭裂紋、碳跡 → 用無水乙醇+棉簽清潔，破損處包 3M 高壓膠帶或整根換新

振蕩箱內(nèi)高壓線圈 120-00390-2 表面焦黑 → 換線圈；同時檢查 1000 pF/200 pF 電容 205-7210 是否擊穿（萬用表 20 M 檔應 ∞）

絕緣塊 303-00510 爬電 → 用細砂紙打磨+異丙醇沖洗，仍擊穿則更換

五、深度清潔維護（一次做全，預防再犯）

拆下炬管、霧化器、霧室 → 3% 王水超聲 10 min → 超純水沖凈 → 烘干

用高壓 N2 吹掃光室與排風口，灰塵是高壓爬電元兇

泵管、進樣毛細管一次性換新，防止鹽析堵塞導致廢液背壓滅弧

風箱濾網(wǎng)水洗晾干，保證 RF 功率管散熱 <45 ℃

六、參數(shù)復位 & 驗證

Service → Plasma → Restore Default，功率 1.20 kW、冷卻 15 L min?1、輔助 1.0 L min?1、霧化 0.70 L min?1

波長校準 Ho 玻璃 4 峰，誤差 ≤ ±0.1 nm

靈敏度測試 5 ppm Mn 257 nm，RSD <1%，檢出限 <0.5 ppb

記錄 Forward/Reflected 功率，Reflected 必須 <10 W